■半導体検査装置・パワー半導体検査装置/試験装置について

コペル電子社屋

 半導体検査装置は、半導体製造プロセスの各段階で欠陥を検出し、半導体の品質を保証するために不可欠なツールです。半導体の電気特性検査は、高度な技術と精密さを要するため、半導体産業においてなくてはならない重要な要素となっています。

 新しい技術の進展により、より高精度で迅速な検査が可能になり、半導体デバイスの信頼性と性能が向上しています。パワー半導体検査装置は、特にパワー半導体デバイスの特性と性能を検査するために設計された装置です。

 パワー半導体デバイスは、高電圧や高電流を扱う用途で使用されるため、通常の半導体デバイスとは異なる検査項目や基準があります。パワー半導体検査装置は、静的特性から動的特性、さらには熱特性や信頼性まで、多岐にわたる検査項目をカバーし、パワー半導体デバイスが設計通りの性能を発揮し、長期間にわたって信頼性を維持できることを保証します。

 コペル電子では、半導体検査装置の中でも、特にパワー半導体の電気特性検査装置に注力し、ウェハー、チップからモジュールにいたるまで、各種形態のパワー半導体の特性検査装置をフルカスタムでお届けしています。アフターフォローについても、メンテナンスから校正にいたるまで、製品ライフサイクルのすべてのフェーズにおいて、万全の体制で臨んでいます。

動特性検査装置(ACテスター)Dynamic Characteristic Tester

動特性検査装置(ACテスター)動特性検査装置(ACテスター)
各種半導体(IGBT、IPM、P-MOS FET、SiC、GaN、Tr、Diode 等)の動特性検査(測定)装置です。
◆測定項目例  スイッチングタイム・負荷短絡・Tr・Tf・Td・Eon・Eoff・Irr・Trr・Err・Qg他

 動特性検査は、半導体素子のスイッチング特性を評価するための重要な検査です。当社の動特性検査装置(Dynamic Characteristic Tester)は、高速で正確な検査が可能で、高速なスイッチング動作に対応し、短時間で正確な検査結果を得ることができます。これにより、設計や製造プロセスの最適化、不具合の早期発見、製品の信頼性向上が可能となります。

 また、次世代の高速・高性能デバイスの開発にも大きく寄与します。高い信頼性を持つ当社の動特性検査装置は、製品の品質を確保するために欠かせません。さらに、柔軟なカスタマイズが可能なため、お客様のニーズに合わせた検査装置の提供が可能です。

静特性検査装置(DCテスター)Static Characteristic Tester

静特性検査装置(DCテスター)静特性検査装置(DCテスター)
各種半導体(IGBT、IPM、P-MOS FET、SiC、GaN、Tr、Diode 等)を対象とした 静特性(DC特性)測定(検査)装置です。
◆測定項目例  Vf・If・Vr・Ir・Vgt・Igt・Hfe他

 半導体の静特性検査装置(Static Characteristic Tester)は、半導体デバイスの静的な電気特性を評価するための装置です。これにより、デバイスの基本的な電気的動作を確認し、設計通りの性能を持っているかを検証します。

 静特性検査装置は、半導体素子の動作において非常に重要な指標となるため、製品の品質保証には欠かせません。静特性検査装置は、半導体デバイスの基本的な電気特性を評価するための重要なツールです。これにより、製造プロセスの品質管理、デバイスの信頼性評価、設計の検証が可能となります。特に、I-V特性やC-V特性の評価は、デバイスの基本的な性能を評価するために不可欠です。

 当社の静特性検査装置は、パワー半導体の静電特性検査を高精度かつ迅速に行うことができます。微小な電流や電圧、あるいは高電圧・大電流の測定が可能であり、高精度な測定結果を提供します。また、柔軟なカスタマイズが可能であるため、お客様のニーズに合わせた検査装置の提供が可能です。

熱抵抗測定器 Thermal Resistance Tester

 過渡熱抵熱抵抗測定器抗(ΔmV)測定器
各種半導体(IGBT、IPM、P-MOS FET、SiC、GaN、Tr、Diode 等)を対象とした 過渡熱抵抗測定(検査)装置です。半導体に規定の電力を消費させ、半導体チップの温度上昇をいろいろなパラメータから測定します。

 半導体の熱抵抗測定器(Thermal Resistance Tester)は、半導体デバイスの熱抵抗を測定するための装置です。熱抵抗は、デバイスが発生する熱をどれだけ効率的に外部へ放散できるかを示す重要なパラメータです。これにより、デバイスの熱管理性能を評価し、信頼性を確保するために使用されます。

 熱抵抗は、半導体素子の熱伝導特性を評価するための指標であり、高品質な半導体素子の開発には欠かせません。適切な熱抵抗評価により、デバイスの冷却方法や放熱設計を最適化し、長期的な信頼性を確保することが可能となります。

 半導体の熱抵抗測定器は、デバイスの熱管理性能を評価するための重要なツールです。熱抵抗を正確に測定することで、デバイスの設計や冷却方法を最適化し、長期的な信頼性を確保することができます。熱抵抗測定は、パワーデバイスに特に重要であり、デバイスの性能向上と寿命延長に寄与します。

 当社の熱抵抗測定器は、パワー半導体の熱特性評価において、高精度な測定を可能としており、大型サイズのサンプルにも対応しています。また、柔軟なカスタマイズが可能であり、お客様のニーズに合わせた装置の提供が可能です。

パワーサイクル試験装置 Power Cycling Tester

パワーサイクル試験装置パワーサイクル(PCT、TFT)試験装置
各種半導体(IGBT、IPM、P-MOS FET、SiC、GaN、Tr、Diode 等)のパワーサイクル試験装置です。半導体に規定のパターンで電力を消費させ、疲労度や耐久性を検査するスクリーニング装置です。

 半導体のパワーサイクル試験装置(Power Cycling Tester)は、半導体デバイスの耐久性や信頼性を評価するための装置です。この装置は、デバイスに電力を繰り返し印加することで、発熱と冷却を繰り返し、熱的ストレスを与えます。これにより、デバイスの接合部や材料の劣化、寿命などを評価するための試験方法であり、製品の品質保証には必須の試験となります。

 パワーサイクル試験は、半導体デバイスの信頼性評価において非常に重要です。デバイスが繰り返しの熱ストレスに耐える能力を評価することで、実際の運用環境での寿命や信頼性を予測できます。特に、電力機器や自動車産業において、高い信頼性が要求されるデバイスの評価には不可欠です。

 当社のパワーサイクル試験装置は、半導体素子の信頼性評価において欠かせない装置で、高精度かつ高速な試験が可能であり、柔軟なカスタマイズも行えます。また、多種多様な試験規格にも対応しているため、幅広い分野で利用されています。

オートハンドラー Auto Handler

オートハンドオートハンドラーラー(モジュール/チップ)
各種半導体(IGBT、IPM、P-MOS FET、SiC、GaN、Tr、Diode 等)用のオートハンドラーです。
◆検査ラインの構築にはなくてはならない搬送機です。
《コペル電子のノウハウに基づく大電力用オリジナルコンタクトが生かされています。》

 オートハンドラー(Auto Handler)は、半導体デバイスの検査工程において、自動でデバイスの取り扱いや配置を行う装置です。オートハンドラーは、ウェハーやチップ、個別パッケージされたデバイスを検査装置(Tester)に供給し、検査後に分類・整理する役割を担います。これにより、検査プロセスの自動化・効率化が図られ、生産性の向上や検査精度の改善が実現します。