チップ単体でのパワーデバイスを測定する動特性検査装置です。
ウェーハ状態での検査装置も多くの実績があります。

チップ単体用動特性検査装置

チップ単体用 動特性測定器

チップ単体用 動特性測定器

高精度な位置決めとプロービング技術によりチップ単体での動特性(AC特性)試験が可能に
新開発のコンタクト方式による低Ls測定を実現

◇主な仕様

対象素子 N-Ch IGBT/P-MOS FET Diode
SW TIME VCC:1000V IC:1000A VG:±20V
VCE(SUS) VCC:1000V IC:2000A VG:±20V
VCE(SUS): 2500V
インダクタンス L:3μH~1mH
波形取得 D.S.O.
その他 パレット供給・分類収納機能

※本仕様は一例です。詳細はお問い合わせください。